EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
SiC-belagd grafitsatellithölje för MOCVD
Det SiC-belagda grafit-satellithöljet från Semixlab är konstruerat för MOCVD-epitaxiska processer och ger enastående termisk stabilitet, kemisk resistens och partikelfritt waferskydd. Med ett grafitsubstrat belagt med högren CVD SiC säkerställer det jämn temperaturfördelning, minskad kontaminering och förlängd livslängd under aggressiva MOCVD-förhållanden. Denna lösning hjälper halvledartillverkare att uppnå högre utbyten och lägre driftskostnader. Välkommen till din ytterligare förfrågan.
BESKRIVNING
Det SiC-belagda grafitsatellithöljet är en kritisk komponent i MOCVD-system (Metal-Organic Chemical Vapor Deposition), speciellt utformade för att säkerställa stabilitet, hållbarhet och renhet under epitaxiell tillväxt av GaN, SiC, GaAs och andra sammansatta halvledarmaterial. Byggt på en bas av isostatisk grafit och belagt med högren CVD SiC, kombinerar det utmärkta termiska egenskaper med överlägsen kemisk resistens och uppfyller de stränga kraven för nästa generations halvledartillverkning.
Material- och fysiska egenskaper
Grafitsubstrat: Finkornig isostatisk grafit, som ger hög mekanisk hållfasthet och bearbetbarhet.
CVD SiC-beläggning: CVD-kiselkarbidlager, vilket säkerställer exceptionell hårdhet, korrosionsbeständighet och skydd mot partikelbildning. Och utmärkta värmeöverföringsegenskaper för jämn temperaturfördelning över MOCVD-susceptorsystemet. Lång livslängd vid upprepade högtemperaturcykler (>1200 °C).
Specifikationer
| Fysikaliska egenskaper hos isostatisk grafit | ||
| Fast egendom | Enhet | Typiskt värde |
| Massdensitet | g / cm ^ | 1.83 |
| Hårdhet | HSD | 58 |
| Elektrisk resistans | μΩ.m | 10 |
| Böjhållfasthet | MPa | 47 |
| Tryckhållfasthet | MPa | 103 |
| Draghållfasthet | MPa | 31 |
| Youngs modul | GPa | 11.8 |
| Termisk expansion (CTE) | 10-6K-1 | 4.6 |
| Värmeledningsförmåga | W·m-1· K-1 | 130 |
| Genomsnittlig kornstorlek | ^ m | 8-10 |
| porositet | % | 10 |
| Askinnehåll | ppm | ≤5 (efter renad) |
| Grundläggande fysikaliska egenskaper för CVD SiC-beläggning | |
| Fast egendom | Typiskt värde |
| Kristallstruktur | FCC β-fas polykristallin, huvudsakligen (111) orienterad |
| Densitet | 3.21 g / cm3 |
| Hårdhet | 2500 Vickers hårdhet (500g belastning) |
| Kornstorlek | 2 ~ 10μm |
| Kemisk renhet | 99.99995% |
| Värmekapacitet | 640 J·kg-1· K-1 |
| Sublimeringstemperatur | 2700 ℃ |
| Böjhållfasthet | 415 MPa RT 4-punkts |
| Youngs modul | 430 Gpa 4pt böj, 1300℃ |
| Värmeledningsförmåga | 300W·m-1· K-1 |
| Termisk expansion (CTE) | 4.5 × 10-6K-1 |
Tillämpningar
Applikationer i MOCVD
Det SiC-belagda grafit-satellithöljet är en viktig komponent i MOCVD-epitaxireaktorer, utformat för att säkerställa stabil waferhantering, exakt temperaturkontroll och kontamineringsfri bearbetning. Dess tillämpningar sträcker sig över ett brett spektrum av tillverkning av sammansatta halvledare, inklusive GaN, GaAs, InP, SiC och andra III-V-material.
1. Waferpåfyllning och support
Satellithöljet fungerar som strukturell bärare för wafers under den epitaxiella tillväxtprocessen. Dess grafitbas ger utmärkt mekanisk stabilitet, medan SiC-beläggningen förhindrar erosion och säkerställer smidig placering av wafern. Denna kombination minskar risken för att wafern glider eller mikrosprickor vid hög temperatur.
2. Likformig rotation för jämn avsättning
I MOCVD roteras wafers med kontrollerade hastigheter för att uppnå en jämn prekursorgasfördelning. Satellithöljet säkerställer en jämn och stabil rotation, vilket minimerar vibrationer och bibehåller en jämn epitaxiell lagertjocklek över waferytan – en kritisk faktor för produktion av högpresterande LED-, effektkomponent- och RF-komponenter.
3. Termisk hantering och värmeöverföring
Temperaturjämnhet är avgörande för kristallkvaliteten. SiC-beläggningens höga värmeledningsförmåga säkerställer effektiv värmeöverföring från susceptorn till wafern, vilket minskar termiska gradienter. Detta resulterar i konsekventa lageregenskaper såsom dopningskoncentration, kristallorientering och filmspänning.
4. Skydd mot processgaser
MOCVD-processer involverar aggressiva gaser som NH₃ (ammoniak), H₂ (väte) och metallorganiska prekursorer. SiC-skiktet fungerar som en robust barriär mot kemiska angrepp och förhindrar grafiterosion, partikelgenerering och kontaminering av reaktorkammaren.
5. Minimering av partikelkontaminering
Partikelföroreningar påverkar direkt enhetens prestanda och utbyte. SiC-beläggningen ger en slät, tät och hård yta som motstår flagning och dammbildning, vilket säkerställer renare epitaxiella filmer och högre tillförlitlighet hos enheten.
6. Förlängd livslängd vid högtemperaturcykling
Under upprepade uppvärmnings- och kylcykler bryts obelagd grafit ner snabbt. SiC-beläggningen förbättrar oxidationsbeständigheten och den mekaniska hållbarheten avsevärt, vilket förlänger serviceintervallen, minskar driftstopp och sänker de totala ägandekostnaderna för fabriker och FoU-labb.
konkurrens~~POS=TRUNC fördelar~~POS=HEADCOMP
Semixlab-fördelar
Semixlab är engagerade i att leverera högpresterande grafit- och SiC-belagda lösningar för halvledarutrustning för epitaxi. Våra styrkor inkluderar:
● Anpassning – Skräddarsydda konstruktioner för att matcha olika MOCVD-reaktormodeller och kundkrav.
● Teknisk konsultation – Över 20 års expertis inom halvledartillverkning för att stödja processoptimering.
● Strikt kvalitetskontroll – Varje satellitskydd genomgår måttnoggrannhetskontroller, verifiering av beläggningstjocklek och högtemperaturstabilitetstester.
● Pålitlig eftermarknadsservice – Dedikerat supportteam säkerställer snabb respons och kontinuerlig kundvägledning.
Semixlabs SiC-belagda grafitsatellithölje är konstruerat för att ge enastående termisk stabilitet, korrosionsbeständighet och renhet för MOCVD-processer. Genom att säkerställa waferytans kvalitet och förlänga utrustningens drifttid ger det en kostnadseffektiv och pålitlig lösning för epitaxi av sammansatta halvledare. Kontakta Semixlab idag för att anpassa dina SiC-belagda grafitkomponenter och förbättra din MOCVD-produktionsprestanda.
Våra tjänster
Semixlab Produktbutik
