Porös grafit med hög renhet

Högren porös grafit är ett kritiskt material för avancerad halvledartillverkning, där dess exceptionella termiska stabilitet, ultralåga kontamineringsnivåer och processkonsekvens är av största vikt. Semixlabs högrena porösa grafitlösningar är specifikt konstruerade för halvledarprocesser med hög temperatur och kontamineringskänslighet.

I epitaxiprocesser används högren porös grafit i stor utsträckning i nyckelkomponenter som substrathållare, waferbärare, gasfördelningsstrukturer och termiska fältelement. Under epitaxiell tillväxt av Si, SiC och GaN är exakt temperaturjämnhet och stabilt gasflöde kritiska faktorer för kontroll av filmtjocklek, dopningsjämnhet och defektundertryckning. Semixlab-grafitens porösa mikrostruktur möjliggör en mer enhetlig värmefördelning och kontrollerad gasdiffusion över waferytan, vilket minskar gränsskiktsinstabilitet och kanteffekter.

Under diffusions- och oxidationsprocesser som kräver långvarig drift över 1000 °C fungerar högren porös grafit som ett pålitligt strukturellt och stödmaterial för waferbåtar, liners och värmeisoleringskomponenter. Jämfört med tät grafit mildrar dess porösa struktur termisk stress och deformation under upprepade termiska cykler, vilket förbättrar dimensionsstabiliteten och förlänger komponenternas livslängd. Dess inneboende kemiska inertitet och låga föroreningshalt bidrar till att upprätthålla en ren processmiljö, vilket stöder strikt kontroll över dopmedelsdiffusionsprofiler och oxidfilmskvalitet samtidigt som riskerna för partikelgenerering och korskontaminering minimeras.

För CVD-, LPCVD- och PECVD-processer spelar högren porös grafit en avgörande roll i värmare, waferbärare och interna kammarkomponenter som utsätts för reaktiva gaser och höga temperaturer. Materialets utmärkta värmeledningsförmåga säkerställer snabb och jämn värmeöverföring, medan dess porösa struktur möjliggör kontrollerad infångning av avlagringsbiprodukter, vilket minimerar flagning och partikelfrisättning under längre tids drift av utrustningen. Detta bidrar direkt till förbättrad processstabilitet, förlängda underhållsintervall och ökad drifttid för utrustningen.

Semixlabs högrena porösa grafit tillverkas under ett rigoröst kvalitetskontrollsystem, med noggrann hantering av råmaterialval, rening och mikrostrukturteknik. När förlängd livslängd eller drift i mer krävande kemiska miljöer krävs är denna produkt kompatibel med avancerade skyddande beläggningar som SiC eller TaC. Genom att utnyttja exceptionell designflexibilitet, bearbetbarhet och avancerad halvledarbeläggningsteknik kan våra lösningar exakt anpassas till de specifika kraven för din halvledarutrustningsplattform och processnod. Vi ser verkligen fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.