Kvartsklocka

Kvartsklockan är en central skyddande komponent i halvledartillverkningsprocessen. Den är tillverkad av syntetiskt kvartsmaterial med ultrahög renhet och är konstruerad för tuffa miljöer med halvledar-, solcells- och avancerad vakuumutrustning. I viktiga processer som CVD (kemisk ångdeponering), diffusionsugn, etsning, jonimplantation etc. ger kvartsklockan en föroreningsfri och mycket enhetlig processmiljö för wafern genom sin utmärkta högtemperaturbeständighet, extremt låga värmeutvidgningskoefficient och utmärkta kemiska stabilitet.

Ansökan:

Kvartsglasklocket är ett klockformat skyddshölje tillverkat av kvartsglas med hög renhet, som har utmärkt högtemperaturbeständighet, kemisk stabilitet och optisk transparens. Det används ofta i laboratorier, halvledarprocesser, vakuumsystem, skydd av precisionsinstrument och andra områden.

Tjänster som kan tillhandahållas:

kundapplikationsscenarioanalys, matchande material, teknisk problemlösning.

Företagsprofil:

Semixlab har 2 laboratorier, ett team av experter med 20 års materialerfarenhet, med FoU och produktions-, test- och verifieringsmöjligheter.

Huvudsakliga tillämpningsområden

Godkännande för verifiering av ekologisk kedja

Semixlabs kvartsglass klockglass ekologiska kedjeverifiering täcker råvaror till produktion, har godkänts enligt internationell standardcertifiering och har ett antal patenterade tekniker för att säkerställa dess tillförlitlighet och hållbarhet inom halvledar- och ny energi.

Typisk ansökningsprocess

Råmaterialberedning (kvartsand med hög renhet) → Smältformning → Temperaturkontrollerad glödgning → Precisionsbearbetning (skärning, slipning, fasning) → Kvalitetskontroll → Ytbehandling (valfritt) → Förpackning

Med den snabba utvecklingen av halvledar-, solcells- och ny energiindustri kommer marknadens efterfrågan på kvartsglas med hög renhet att fortsätta öka. Semixlabs kvartsglas ersätter gradvis import inom mellan- till högklassiga tillämpningsområden genom att förbättra materialrenheten, optimera beläggningsprocesser och bryta igenom storskalig tillverkningsteknik.

För detaljerade tekniska specifikationer, faktablad eller exempel på testarrangemang, vänligen kontakta vårt tekniska supportteam för att utforska hur Semixlab kan förbättra er processeffektivitet.

Kärnfördelar med Semixlab Quartz Bell Jar

Ultraren kvartsmaterial - säkerställer noll processföroreningar

Semixlab Quartz Bell Jar är tillverkad av 99.99 % högren syntetisk kvarts, och halten av metallföroreningar är strikt kontrollerad under 1 ppm, vilket i grunden eliminerar risken för metallkontaminering under waferbearbetning. Den extremt låga hydroxylhalten (OH < 10 ppm) säkerställer att vattenånga inte släpps ut under högtemperaturprocesser för att undvika att påverka känsliga processer. Genom exakt bubbelkontrollteknik är produktens bubbelhastighet mindre än 0.1 %, och den optiska enhetligheten når branschens högsta nivå, vilket ger en perfekt arbetsmiljö för laserprocesser och optiska inspektioner.

Utmärkt temperaturbeständighet - anpassar sig till extrema processmiljöer

Kvartsglaset har utmärkt hög temperaturstabilitet och kan motstå den tuffa arbetsmiljön på 1200 °C under lång tid, och kan motstå kraven för ultrahöga temperaturer på 1450 °C på kort sikt. Tack vare den ultralåga värmeutvidgningskoefficienten kan den fortfarande bibehålla dimensionsstabilitet under drastiska temperaturförändringar, vilket undviker risken för sprickbildning på grund av termisk stress. Den utmärkta termiska chockbeständigheten gör att den kan anpassa sig till den frekventa temperaturökningen och -fallet inom halvledartillverkning, vilket avsevärt förbättrar utrustningens utnyttjandegrad.

Kemisk inertitet och korrosionsbeständighet - förlängd livslängd

Våra kvartsglas uppvisar utmärkt kemisk stabilitet och kan motstå korrosion från mycket korrosiva medier som HF och HCl, vilket gör dem perfekta för olika etsnings- och rengöringsprocesser inom halvledartillverkning. Speciella ytbehandlingsprocesser ger dem utmärkt motståndskraft mot plasmaerosion, en tät yta utan porer och minskar effektivt partikelavsättning. Genom precisionspoleringsprocesser kan ytjämnheten kontrolleras till Ra≤0.4 μm (valfritt superpolerad till Ra≤0.1 μm), vilket minimerar påverkan på waferytan.

Utmärkt optisk prestanda - stöder precisionsoptiska processer

Produkten bibehåller en hög transmittans på mer än 90 % i det ultravioletta till infraröda bandet, vilket är särskilt lämpligt för processlänkar med strikta krav på optisk prestanda. Den unika materialformeln och tillverkningsprocessen minskar effektivt fluorescenseffekten och undviker störningar med precisionsoptisk detektion. Denna utmärkta optiska egenskap gör den till ett idealiskt val för avancerade processer som laserglödgning och UV-härdning.

Anpassad design – exakt matchning av utrustningskrav

Vi erbjuder ett komplett utbud av kundanpassade tjänster, och olika produktstorlekar kan perfekt anpassas till olika utrustningskrav. Specialdesign kan tillverkas enligt kundens ritningar.