Kvartsskiva för halvledarprocess

Halvledarindustrin kräver komponenter med exceptionell renhet och precision. Kvartsskivor är en hörnsten inom detta område och spelar en avgörande roll i olika högtemperatur- och kemiskt krävande halvledartillverkningsprocesser. Semixlab Quartz Disc for Semiconductor Process är konstruerad av syntetisk smält kiseldioxid (SiO2) med hög renhet för att ge exceptionell termisk stabilitet, kemisk resistens och ultralåg kontaminering. Dessa halvledarkvartsskivor används för CVD-tunnfilmsdeponering, ALD, PVD-sputtring, diffusion/glödgning, RTP och plasmaetsning (RIE/ICP).

Materialegenskaper och egenskaper

Våra halvledarkvartsskivor är tillverkade av högrent smält kvarts, ett material känt för sina exceptionella egenskaper. De viktigaste egenskaperna hos våra kvartsskivor inkluderar:

● Hög renhet: Genom att innehålla minimala föroreningar förhindrar våra kvartsskivor kontaminering av känsliga halvledarskivor, vilket är avgörande för att bibehålla enhetens integritet och utbyte.

● Utmärkt termisk stabilitet: Med en låg värmeutvidgningskoefficient kan kvartsskivor motstå extrema temperaturfluktuationer utan att spricka eller deformeras. Detta gör dem idealiska för högtemperaturprocesser som glödgning, diffusion och oxidation.

● Kemisk inertitet: Kvarts är mycket resistent mot de flesta syror och kemikalier som används vid halvledarbearbetning, inklusive fluorvätesyra (HF) och svavelsyra (H2SO4). Denna kemiska inertitet säkerställer en stabil och icke-reaktiv miljö för wafers.

● Hög transparens: Smält kvarts har hög transparens för ultraviolett (UV) ljus, vilket är avgörande för fotolitografi och andra optiska processer.

Våra kvartsskivor finns i en mängd olika storlekar och tjocklekar, med typiska parametrar som inkluderar:

● Renhet: >99.995 %

● Termisk expansionskoefficient: ~0.54 x 10−6/°C (vid 20–300 °C)

● Mjukningspunkt: ~1600 °C

● Tillgängliga diametrar: Upp till 300 mm

Tillämpningar inom halvledartillverkning

Högrena kvartsskivor är oumbärliga i flera viktiga halvledarprocesser. Deras specifika tillämpningar inkluderar:

● CVD (kemisk ångdeposition): Kvartsskivor används som susceptorplattor eller foder i CVD-reaktorer. Deras termiska stabilitet och kemiska inertitet säkerställer jämn uppvärmning och en kontamineringsfri miljö för tunnfilmsavsättningsprocesser.

● PVD (fysisk ångavsättning): I PVD-processer som sputtering fungerar kvartsskivor som målstöd eller substrathållare. De kan motstå den höga kinetiska energin från deponeringsprocessen samtidigt som de bibehåller dimensionsstabilitet.

● Oxidation och diffusion: Som ugnsfoder eller som en komponent i waferbåtar är kvartsskivor en integrerad del av högtemperaturoxidations- och diffusionsprocesser. De förhindrar att metallföroreningar från ugnsväggarna når kiselskivorna.

● Glödgning: Kvartsskivor ger en ren och stabil yta för termisk glödgning, en process som används för att reparera kristallgitterskador och aktivera dopämnen i halvledarkomponenter.

Semixlab Advantage: Din partner inom halvledartillverkning

På Semixlab är vi mer än bara en tillverkare av halvledarkvartsskivor. Vi är en partner som är dedikerad till din framgång och erbjuder en uppsättning tjänster utformade för att effektivisera din verksamhet och förbättra din processeffektivitet.

● Anpassning: Vi förstår att varje tillverkningsprocess är unik. Vårt team kan tillverka skräddarsydda kvartsskivor anpassade efter dina specifika dimensions-, renhets- eller tillämpningskrav.

● Teknisk konsultation: Våra tekniska experter erbjuder djupgående konsultationer för att hjälpa dig välja den perfekta kvartsprodukten för just din process, vilket säkerställer optimal prestanda och livslängd.

● Snabb prototypframställning och provtagning: Vi erbjuder snabba leveranstider för prototyper och prover, vilket gör att ni kan testa och validera våra produkter snabbt och effektivt. Detta accelererar era FoU-cykler och minskar tiden till marknaden.

För processingenjörer och köpare som söker pålitliga bärplattor, isoleringssköldar och stöd av optisk kvalitet, erbjuder Semixlab kvartsskivor med snäv tolerans och låg defekt, vilket förbättrar utbytet och förlänger verktygens drifttid. Vi ser verkligen fram emot att bli er långsiktiga partner i Kina.