Kvarts delar

Kvarts finns fortfarande överallt inom halvledarbearbetning. Det är inte nytt, men det är tillförlitligt, och de flesta fabriker är bekanta med hur det beter sig. Så länge renheten kontrolleras fungerar det bra i diffusions-, oxidations- och rengöringssteg.

Många kvartsdelar används i ugnssystem eller PECVD-verktyg. Den främsta förväntningen är stabilitet – inte nödvändigtvis lång livslängd, men förutsägbar prestanda. Det är vanligtvis tillräckligt bra för många standardprocesser.

Naturligtvis har kvarts sina begränsningar. Det kan slitas ut snabbare under vissa förhållanden, särskilt jämfört med kiselkarbid. Men eftersom det är relativt lätt att få tag på och inte för dyrt, använder folk det fortfarande ganska mycket.