Högrena CVD-SiC-källblock och -bitar

Vid produktion av 6-tums och 8-tums SiC-wafers stöter den traditionella metoden för fysisk ångtransport (PVT) ofta på en flaskhals: kontaminering av kolstoft (C-dust) och instabila sublimeringshastigheter från SiC-pulver.

Vi utvecklade våra högrena CVD-SiC-källblock och -bitar specifikt för att hantera precisionsgränserna hos traditionella pulverkällor. Vi börjar med CVD-SiC-prekursorer av halvledarkvalitet och bearbetar materialet genom en egenutvecklad krossnings- och graderingscykel. Det handlar inte bara om att rengöra ytan – det är en djupreningsprocess som omvandlar återvunna komponenter till högpresterande källmaterial för nästa generations SiC-wafers. Resultatet är ett högdensitets källmaterial av 7N-kvalitet som optimerar termiska fältgradienter och dramatiskt ökar kristalltillväxtutbytet.

Specifikationer och beställning

● Renhet: 6N5 till 7N

● Storlek: 5 mm - 50 mm (anpassningsbar)

● Förpackning: Dubbelskiktade, vakuumförseglade antistatiska PE-påsar.

● Ledtid: Stabil leveranskedja med globala leveransmöjligheter.

Riktade applikationer

PVT SiC-kristalltillväxt: Idealisk för 4H-SiC-ledande och halvisolerande substrat.

8-tums wafer-uppskalning: Utformad för de större termiska fälten i nästa generations reaktorer där pulverinstabiliteten är förstorad.

Avancerad FoU: För laboratorier som kräver lägsta möjliga EPD (Etch Pit Density) och MPD.

Semixlab Edge: Databaserad tillförlitlighet

I takt med att industrin går mot 8-tums SiC-tillverkning blir enhetligheten hos källmaterialen den främsta drivkraften för utrustningens drifttid. CVD-SiC-bitar ger den höga staplingsdensiteten och förutsägbara sublimeringen som krävs för långcykliga kristallkörningar med högt utbyte.

GDMS-certifierad: Varje batch levereras med en fullständig GDMS-analysrapport.

Anpassad gradering: Vi erbjuder exakt storlekssortering (t.ex. 5–20 mm eller 20–50 mm) för att matcha din specifika degelgeometri.

Semixlab-fördelen: Högre avkastning, lägre kostnader

7N Ultra-renhet: Total kontroll av metalliska föroreningar är inte bara ett mål – det är vår standard. Med hjälp av CVD-baserade råvaror tillhandahåller vi en 99.99999 % ren källa som säkerställer att dina 4H-SiC-kristaller förblir defektfria från grunden och uppåt.

Bryta tillväxtbarriären: De flesta fabriker har fastnat vid 0.5 mm/h. Semixlab-klumpar underlättar överlägsen massöverföring, vilket höjer din PVT-process till 1.46 mm/h. Det är det snabbaste sättet att skala upp din 8-tumsproduktion.

Ren sublimering: Traditionella pulver lider av "C-damm"-kontaminering. Vår fasta klumpform säkerställer noll partiklar i ångfasen, vilket begränsar MPD och håller dislokationsantalet runt 3000 cm⁻².

Industriell effektivitet: Vi erbjuder ett hållbart alternativ med hög renhet genom att återvinna CVD-SiC av halvledarkvalitet. Du får ett material som är renare än syntetiskt pulver men prissatt för massproduktion.

Teknisk jämförelse: Chunks vs. Traditionellt pulver