SiC-belagd grafithållare för ICP

Multi-wafer Si epitaxial bearbetningsplattform

Semixlab SiC-belagd grafithållare för ICP är speciellt utformad för induktivt kopplad plasmaetsning och deponering. Den använder ett högrent grafitsubstrat i kombination med en kiselkarbidbeläggningsprocess för att ge utmärkt högtemperaturbeständighet, korrosionsbeständighet och oxidationsbeständighet. Den är lämplig för tuffa analytiska miljöer, vilket avsevärt förlänger komponenternas livslängd och minskar underhållskostnaderna. Samtidigt garanterar vi strikt kvalitetskontroll, kundanpassade tjänster och snabb leverans.

Ansökan:

SiC-belagd grafithållare är en nyckelkomponent i etsnings- och deponeringsprocesser för halvledarinduktivt kopplad plasma (ICP) på grund av deras höga renhet, höga temperaturbeständighet och utmärkta plasmaerosionsbeständighet.

Tjänster som kan tillhandahållas:

kundapplikationsscenarioanalys, matchande material, teknisk problemlösning.

Företagsprofil:

Semixlab har 2 laboratorier, ett team av experter med 20 års materialerfarenhet, med FoU och produktions-, test- och verifieringsmöjligheter.

tekniska parametrar

Huvudsakliga tillämpningsområden

Godkännande för verifiering av ekologisk kedja

Semixlab SiC-belagd grafithållare för ICP:s ekologiska kedjeverifiering täcker råvaror till produktion, har godkänts enligt internationell standardcertifiering och har ett antal patenterade tekniker för att säkerställa dess tillförlitlighet och hållbarhet inom halvledar- och ny energi.

För detaljerade tekniska specifikationer, faktablad eller exempel på testarrangemang, vänligen kontakta vårt tekniska supportteam för att utforska hur Semixlab kan förbättra er processeffektivitet.

Fördelar med Semixlab SiC-belagd grafithållare för ICP-kärnan

Super korrosionsbeständighet

SiC-belagda grafithållare använder en kemisk ångavsättningsprocess för att bilda ett tätt skyddande lager av kiselkarbid på grafitytan, vilket effektivt motstår korrosion från starka syror, baser och organiska lösningsmedel. Jämfört med traditionella grafit- eller metallhållare är dessa hållare mer stabila vid hantering av mycket korrosiva prover, vilket förhindrar kontaminering på grund av materialnedbrytning. De är särskilt lämpliga för ICP-applikationer som involverar långvarig exponering för korrosiva medier.

Hög temperaturstabilitet

I högtemperaturmiljön för ICP-plasma oxideras och ablateras vanlig grafit lätt, men SiC-beläggningen hämmar avsevärt reaktionen mellan grafitsubstratet och syre. Dess högtemperaturbeständighet säkerställer att hållaren bibehåller sin strukturella integritet under långvariga driftsförhållanden vid höga temperaturer, vilket förhindrar försämring av instrumentets prestanda på grund av termisk deformation eller materialförlust. Den är särskilt lämplig för kontinuerliga testbehov i högkapacitetslaboratorier.

Hög mekanisk hållfasthet

SiC har en hårdhet nära diamantens, och dess beläggning förbättrar slitstyrkan hos den hårdare ytan avsevärt. I ICP minskar SiC-beläggningar ytslitaget och ökar precisionen för nyckelkomponenternas passform, vilket bibehåller en stabil jonöverföringseffektivitet och minskar utbytesfrekvensen.

Kostnadseffektivitet

Jämfört med ren SiC eller platina bibehåller SiC-belagd grafit utmärkt prestanda samtidigt som kostnaderna minskar med 30–50 %. Dess livslängd är 3–5 gånger högre än för vanliga grafithållare, vilket avsevärt minskar driftstopp och förbrukningsvaror. Det är en optimalt kostnadseffektiv lösning, särskilt för laboratorier med begränsade budgetar som kräver långsiktig stabil drift.